Search for: [Description = Sposób wytwarzania obszarów bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym warstwy materiału ferromagnetycznego o składzie \(Co0,45Fe0,45Zr0,10\)0,38\(Al2O3\)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10\-2 Pa do 10\-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10\-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10\-2 Pa do 10\-1Pa, korzystnie 4,41 •10\-2 Pa na płytkę podłożową z krzemu, poddaną, wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 575°C, w czasie 10\-30 minut, korzystnie 15 minut.]

Number of results: 1