Tytuł:

Sposób wytwarzania bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych : opis patentowy nr 216971

Tytuł oryginału:

PL 216971 B1

Twórca:

Zhukowski, Pawel ; Kołtunowicz, Tomasz N. ; Węgierek, Paweł ; Fedotov, Alexander ; Fedotova, Julia A. ; Larkin, Andrzej

Opis:

Sposób wytwarzania obszarów bezuzwojeniowych indukcyjności do układów mikroelektronicznych charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym warstwy materiału ferromagnetycznego o składzie (Co0,45Fe0,45Zr0,10)0,38(Al2O3)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1Pa, korzystnie 4,41 •10-2 Pa na płytkę podłożową z krzemu, poddaną, wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 575°C, w czasie 10-30 minut, korzystnie 15 minut.

Wydawca:

Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe) ; Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (wyd. oryg.)

Współtwórca:

Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu ; Milczek, Tomasz (1950- ). Oprac.

Data wydania:

2014 (wyd. cyfrowe) ; Zgłoszono 22.03.2010. ; Zgłoszenie ogłoszono 26.09.2011 BUP 20/11. ; Opublikowano 30.05.2014 WUP 05/14.

Typ dokumentu:

Opis patentowy

Format:

application/pdf

Powiązania:

Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 390789 (A1) 22.03.2010. ; Nr zgłoszenia: 390789.

Zakres:

H01F 41/02 (2006.01) Int. Cl. ; H01F 41/14 (2006.01) Int. Cl.

Zarządzanie prawami:

Politechnika Lubelska

Tagi:

bplmj