Title:
Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonych : opis patentowy nr 212829
Oryginal title:
Creator:
Żukowski, Paweł ; Węgierek, Paweł ; Partyka, Janusz ; Kołtunowicz, Tomasz N.
Description:
Publisher:
Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (wyd. oryg.) ; Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe)
Contributor:
Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu ; Milczek, Tomasz (1950- ). Oprac.
Date:
2013 (wyd. cyfrowe) ; Zgłoszono 21.11.2006. ; Zgłoszenie ogłoszono 26.05.2008 BUP 11/08. ; Opublikowano 30.11.2012 WUP 11/12.
Resource Type:
Format:
Relation:
Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 381107 (A1) 26.05.2008. ; Nr zgłoszenia: 381107.
Coverage:
H01L 21/425 (2006.01) Int. Cl.