Title:

Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonych : opis patentowy nr 212829

Oryginal title:

PL 212829 B1

Creator:

Żukowski, Paweł ; Węgierek, Paweł ; Partyka, Janusz ; Kołtunowicz, Tomasz N.

Description:

Sposób wytwarzania obszarów izolacji pionowej w układach scalonych wykonanych na podłożu z arsenku galu charakteryzuje się tym, że wykonuje się polienergetyczną implantację jonów lekkich, korzystnie jonów wodoru H+ o dawkach rzędu 1012-1015cm-2, korzystnie 1014cm-2 i energiach z zakresu 50-400keV, do płytki z arsenku galu poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym dla wykonania układu scalonego, a następnieprzeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze od 200°C do 300°C, korzystnie 250°C, w czasie 10-15 minut, korzystnie 15 minut.

Publisher:

Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (wyd. oryg.) ; Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe)

Contributor:

Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu ; Milczek, Tomasz (1950- ). Oprac.

Date:

2013 (wyd. cyfrowe) ; Zgłoszono 21.11.2006. ; Zgłoszenie ogłoszono 26.05.2008 BUP 11/08. ; Opublikowano 30.11.2012 WUP 11/12.

Resource Type:

Opis patentowy

Format:

application/pdf

Relation:

Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 381107 (A1) 26.05.2008. ; Nr zgłoszenia: 381107.

Coverage:

H01L 21/425 (2006.01) Int. Cl.

Rights Management:

Politechnika Lubelska

Tags:

bplmj