Title:

Sposób wytwarzania kondensatorów półprzewodnikowych : opis patentowy nr 174710

Oryginal title:

PL 174710 B1

Creator:

Żukowski, Paweł ; Partyka, Janusz ; Węgierek, Paweł ; Kantorow, Sergiej ; Szostak, Jerzy

Description:

Sposób wytwarzania kondensatorów półprzewodnikowych w układach scalonych, polegający na umieszczeniu dielektryka między okładkami, z których jedna jest domieszkowaną warstwą półprzewodnika, a druga jest warstwą metalu naniesionego na dielektryki, charakteryzuje się tym, że implantuje się płytkę krzemową jonami tej samej domieszki jaką była domieszkowana płytka, dawką 10 do 15 - 10 do 16 cm־² wygrzewa się ją w temperaturze 1000°-1050°C przez 10-20 minut i implantuje się domieszką neutralną: azotem, krzemem lub argonem z energiami dobranymi tak, aby zasięg jonów był mniejszy niż wytworzona poprzednio warstwa o podwyższonej przewodności, a następnie wygrzewa się płytkę w temperaturze 380°-450°C w czasie 10-20 minut.

Publisher:

Politechnika Lubelska

Contributor:

Skrynicki, Wiesław. Oprac. ; Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu

Date:

Zgłoszono 10.11.1994. ; Zgłoszenie ogłoszono 13.05.1996 BUP 10/96. ; Opublikowano 30.09.1998 WUP 09/98. ; 2013 (wyd. cyfrowe)

Resource Type:

Opis patentowy

Format:

application/pdf ; pełnotekstowe przeszukiwanie publikacji

Relation:

Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 305824 (A1) 13.05.1996. ; Nr zgłoszenia: 305824.

Coverage:

H01G 4/12 Int.Cl.6.

Rights Management:

Politechnika Lubelska

Tags:

bplmj