Szukana fraza: [Opis = Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów scalonych, na płytce podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie FeCoZr\)45,7\(CaF2\)54,3 w atmosferze argonu w zakresie ciśnień od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa.]