Szukana fraza: [Opis = Sposób wytwarzania bezuzwojeniowej indukcyjności do układów mikroelektronicznych, na płytce podłożowej z krzemu, poddana wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu mikroelektronicznego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie Cu35,63\(SiO2\)63,37 w atmosferze argonu w zakresie ciśnień od 10\-3 Pa do 10\-2 Pa]