Title:

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów mikroelektronicznych : opis patentowy nr 218600

Oryginal title:

PL 218600 B1

Creator:

Żukowski, Paweł

Description:

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów mikroelektronicznych, charakteryzuje się tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem magnetronowym warstwy materiału ferromagnetycznego (Co0,45-Fe0,45Zr0,10)0,38(Al2O3)0,62 w atmosferze argonu o ciśnieniach od 10-2 Pa do 10-1 Pa, korzystnie 5,19 • 10-2 Pa i tlenu o ciśnieniach od 10-2 Pa poddaną wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu kroelektronicznego, a następnie przeprowadza się izotermiczne wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 550°C, w czasie 10 - 30 minut, korzystnie 15 minut

Publisher:

Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe) ; Urząd Patentowy Rzeczypospolitej Polskiej (wyd. oryg.)

Contributor:

Politechnika Lubelska. Uprawniony z patentu ; Milczek, Tomasz (1950- ). Oprac.

Date:

2015 (wyd. cyfrowe) ; Zgłoszono 22.04.2010 ; Zgłoszenie ogłoszono 24.10.2011 BUP 22/11 ; Opublikowano 30.01.2015 WUP 01/15

Resource Type:

Opis patentowy

Format:

application/pdf

Relation:

Opis zgłoszeniowy wynalazku PL 391039 (A1) 24.10.2011

Coverage:

H01L 21/00 (2006.01) Int. Cl. ; H01L 27/00 (2006.01) Int. Cl. ; H01F 41/00 (2006.01) int. Cl. ; H01F 41/14 (2006.01) Int. Cl. ; H01F 41/18 (2006.01) Int. Cl.

Rights Management:

Politechnika Lubelska