Title:

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych opis patentowy nr 222094

Oryginal title:

PL 222094 B1

Creator:

Tomasz Kołtunowicz

Description:

Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność-indukcyjność do układów scalonych, na płytce podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie FeCoZr)62,7(CaF2)37,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa oraz tlenu w zakresie ciśnień od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa, a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 150°C, w czasie 10 - 20 minut.

Publisher:

Politechnika Lubelska (wyd. cyfrowe) ; Urząd Patentowy Rzeczpospolitej Polskiej (wyd. oryg.)

Contributor:

Politechnika Lubelska. Uprawaniony z patentu ; Milczek Tomasz (1950-). Oprac.

Date:

2016 (wyd. cyfrowe) ; Zgłoszono 03.11.2014. ; Zgłoszenie ogłoszono 03.08.2015 BUP 16/15. ; Opublikowano 30.06.2016 WUP 06/16.

Resource Type:

Opis patentowy

Format:

application/pdf

Language:

pol

Relation:

Opis zgłoszeniowy wynalazku PL410024 (A1) 03.08.2015. ; Nr zgłoszenia: 410024.

Coverage:

H01G 4/33 (2006.01) Int. Cl. ; H01L 27/00 (2006.01) Int. Cl. ; H01F 41/14 (2006.01) Int. Cl. ; H01F 41/02 (2006.01) Int. Cl. ; H01F 41/18 (2006.01) Int. Cl. ; H01L 23/64 (2006.01) Int. Cl. ; C23C 14/00 (2006.01) Int. Cl.

Rights Management:

Politechnika Lubelska

Tags:

aw