Szukana fraza: [Opis = Sposób wytwarzania szeregowego układu pojemność\-indukcyjność do układów scalonych, na płytce podłożowej z krzemu, poddanej wcześniej wszystkim operacjom technologicznym wymaganym do wykonania układu scalonego polega na tym, że wykonuje się naniesienie rozpylaniem jonowym warstwy materiału o składzie FeCoZr\)62,7\(CaF2\)37,3 w atmosferze argonu i tlenu w zakresie ciśnień argonu od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa oraz tlenu w zakresie ciśnień od 10ˉ² Pa do 10ˉ¹ Pa, a następnie wykonuje się wygrzewanie stabilizujące w temperaturze 150°C, w czasie 10 \- 20 minut.]

Wyników: 1